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Wärmebehandlungsanlagen für die Aluminiumindustrie
HICON Haubenöfen für Kondensatorfolie.
Folien für die Elektronikindustrie müssen allerhöchste Qualitätsansprüche erfüllen. So wird z. B. raffiniertes, hochreines Aluminium für die Herstellung von Hochkapazitäts-Kondensatorfolie für Elektrolytkondensatoren verwendet.
Der geforderte Reinheitsgrad des Aluminiums steigt mit der Betriebsspannung. So ist für Niedervoltkondensatoren die Qualität AI3N8 ausreichend, während der Hochvoltbereich die Qualität AI4N (AI 99,99 %) erfordert.
Nur eine hochreine Schutzgasatmosphäre während der Glühung ermöglicht die Bildung einer gleichmäßigen Al2O3-Schicht an der Folienoberfläche, wodurch die nachfolgende „Tunnelätzung“ begünstigt wird. Die Glühtemperaturen liegen im Bereich zwischen 550 °C und 620 °C; es ist ein Schutzgastaupunkt von unter -30 °C erforderlich.
Um diese strengen Kriterien zu erfüllen, muss die Glühung in einem Ofen mit gas- und vakuumdichter Retorte erfolgen. Dafür eignet sich besonders der HICON Haubenofen.
HICON Haubenöfen zeichnen sich durch folgende Eigenschaften aus:
- Ausführung mit metallisch gekapseltem, gasdichten und vakuumfesten Glühraum
- Metallische Oberflächen im Glühraum sind für
Hochvakuum ausgeführt - Genaueste Temperaturgleichmäßigkeiten bis +/- 3°C
- Flexible Aufheiz– u. Abkühlgradienten
- Zwischenvakuum bei erhöhten Temperaturen
